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  Reference material for transmission electron microscope calibration

Filippov, M. N., Gavrilenko, V. P., Kovalchuk, M. V., Mityukhlyaev, V. B., Ozerin, Y. V., Rakov, A. V., Roddatis, V., Todua, P. A., Vasiliev, A. L. (2011): Reference material for transmission electron microscope calibration. - Measurement Science and Technology, 22, 9, 094014.
https://doi.org/10.1088/0957-0233/22/9/094014

Item is

 

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://gfzpublic.gfz-potsdam.de/pubman/item/item_4693933 Versions-Permalink: https://gfzpublic.gfz-potsdam.de/pubman/item/item_4693933_2
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Filippov, M. N.1, Autor
Gavrilenko, V. P.1, Autor
Kovalchuk, M. V.1, Autor
Mityukhlyaev, V. B.1, Autor
Ozerin, Y. V.1, Autor
Rakov, A. V.1, Autor
Roddatis, Vladimir2, Autor              
Todua, P. A.1, Autor
Vasiliev, A. L.1, Autor
Affiliations:
1External Organizations, ou_persistent22              
20 Pre-GFZ, Departments, GFZ Publication Database, Deutsches GeoForschungsZentrum, ou_146023              

Inhalt

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Schlagwörter: -
 Zusammenfassung: We propose a new type of reference material as a magnification standard of a transmission electron microscope (TEM) and a scanning transmission electron microscope. The reference material represents a thin cross-section of a silicon relief structure with certified sizes of its elements. It is fabricated using ion milling. Such reference material can be used for high microscope magnifications (by direct observation of the lattice), as well as for moderate magnifications (around 30 000 times).

Details

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Sprache(n):
 Datum: 2011
 Publikationsstatus: Final veröffentlicht
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: Anderer: WOS:000294764800015
DOI: 10.1088/0957-0233/22/9/094014
ISSN: 0957-0233
URI: ://WOS:000294764800015
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Measurement Science and Technology
Genre der Quelle: Zeitschrift, SCI, Scopus
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 22 (9) Artikelnummer: 094014 Start- / Endseite: - Identifikator: CoNE: https://gfzpublic.gfz-potsdam.de/cone/journals/resource/journals339